?????????10/3/2002, 市場(chǎng)調(diào)研公司In-Stat/MDR (http://www.instat.com)日前指出MEMS器件制造設(shè)備正在成為半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)領(lǐng)域的亮點(diǎn)。目前全球有60家左右的MEMS制造工廠，上百家MEMS領(lǐng)域的新興公司以及更多的大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)。他們構(gòu)成了MEMS設(shè)備的市場(chǎng)基礎(chǔ)。無(wú)論兼顧MEMS的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備還是專門用于MEMS的設(shè)備目前的銷售都還不錯(cuò)。另訊，領(lǐng)先的MEMS器件制造商OMM, Inc.剛剛獲得MEMS領(lǐng)域的四項(xiàng)美國(guó)專利，依次是US# 6445841, US #6445840, US #6449406, US #6453083。(劉錚編譯)