4/03/2020，MEMS VOA所采用的是很成熟的MEMS技術(shù)，其技術(shù)實現(xiàn)難度低于Mems OSW，武漢嘉迅光電潛心深耕MEMS技術(shù)，開創(chuàng)性地推出了超低WDL Mems VOA。

Mems VOA有2種大類型：
第一種為Mems Shutter VOA，也稱擋光式Mems VOA，原理為通過控制Mems Shutter對信號光進(jìn)行阻擋（控制一般采取加熱方式），實現(xiàn)光信號衰減功能。
第二種為Mems Mirror VOA，也稱轉(zhuǎn)鏡式Mems VOA，原理為通過控制MEMS Mirror芯片的轉(zhuǎn)動，使出射的信號光發(fā)生偏轉(zhuǎn)，改變輸出port上接收到的光斑大小，實現(xiàn)光信號衰減功能。
對比兩種原理的Mems VOA，擋光式Mems VOA因為需要加熱，功耗較高。轉(zhuǎn)鏡式Mems VOA功耗極低，尺寸更小。本文討論第二種，下文中Mems VOA都特指轉(zhuǎn)鏡式Mems VOA。

MEMS VOA主流設(shè)計都是采用同軸設(shè)計方案，通過以下幾個步驟來實現(xiàn)：
1、將MEMS芯片進(jìn)行TO封裝；
2、對光路進(jìn)行調(diào)試，獲得最大衰減的光路；
3、將調(diào)試好的光路和雙芯準(zhǔn)直器封裝到同軸圓管內(nèi)。

Mems VOA有2種小類型：
1、Bright型，初始0電壓對應(yīng)0衰減；
2、Dark型，初始0電壓對應(yīng)最大衰減；

以Bright型為例，Mems VOA器件的衰減原理圖如下：


Mems VOA的器件實物圖：


Mems VOA的功能是實現(xiàn)光路衰減，其應(yīng)用方向主要有幾個方面：
1、用于測試系統(tǒng)或集成到測試儀表內(nèi)；
2、功率均衡，與OADM配合，或和AWG組成VMUX；
3、集成到EDFA內(nèi)，調(diào)節(jié)輸出斜率，調(diào)整放大器增益實現(xiàn)VGA功能。

Mems VOA的應(yīng)用場景集中在骨干網(wǎng)，城域網(wǎng)，下圖為Mems VOA配合OADM進(jìn)行功率均衡示意圖