4/09/2020，光纖在線訊，根據(jù)最新的數(shù)據(jù)顯示，光刻機(jī)生產(chǎn)巨頭荷蘭ASML公司去年一共交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)（EUV），極紫外光刻機(jī)一般被用于先進(jìn)的生產(chǎn)工藝，是晶圓代工廠生產(chǎn)芯片最重要的設(shè)備。

ASML此前公布，2019年共向客戶交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)。其中，有9臺(tái)是最新型號(hào)，即NXE:3400C，這些新型號(hào)的光刻機(jī)被用于7nn EUV工藝的制造。而在已經(jīng)交付的用于生產(chǎn)7nm EUV工藝的光刻機(jī)當(dāng)中，臺(tái)積電的需求量最大。英國調(diào)查公司Omdia推測稱，ASML去年交付的26臺(tái)極紫外光刻機(jī)，大約有一半最終交付給了臺(tái)積電，另外一半則流向了三星、英特爾等有晶圓業(yè)務(wù)的公司。其中2019年第四季度共交付了8臺(tái)。



臺(tái)積電2019年正式啟動(dòng)7nm產(chǎn)品的量產(chǎn)，這只能通過波長極短的EUV進(jìn)行操作。資料顯示，EUV光源波長比目前深紫外線微影的光源波長短少約15 倍，因此能達(dá)到持續(xù)將線寬尺寸縮小的目的。在晶圓代工領(lǐng)域，臺(tái)積電掌握了全球約一半份額。

以最先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)為例，目前ASML公司每年的產(chǎn)能也就幾十臺(tái)，除了臺(tái)積電以外，三星、英特爾等公司也有大量的需求。受制于產(chǎn)能、技術(shù)封鎖等原因，國內(nèi)的晶圓代工廠商想要購買一臺(tái)先進(jìn)的極紫外光刻機(jī)自然是難上加難。ASML在阿姆斯特丹泛歐證券交易所和納斯達(dá)克上市。周三收盤，ASML(NASDAQ:ASML)股價(jià)上漲2.2%至278.58美元，總市值約1169.51億美元。

截止到目前為止，國內(nèi)最先進(jìn)的制程還停留在14nm水平，這也是在去年年底才量產(chǎn)。即使是普通的7nm工藝光刻機(jī)，恐怕也要等到2021年才有可能交付。