10/15/2020，近日，光纖在線再迎新會員—中科院微電子所硅光平臺，這是國內(nèi)首個完整硅光工藝流片能力的平臺。自2017年5月開始對外服務(wù)以來，累計為200余家客戶提供了MPW流片服務(wù)和定制化流片服務(wù)，為我國硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了有力的支持。
    中科院微電子所硅光平臺基于所級8英寸CMOS工藝線開發(fā)了成套硅光技術(shù)，包括硅光流片工藝庫和基礎(chǔ)器件庫，制定了硅光子平臺的設(shè)計規(guī)則和工藝規(guī)范，形成了平臺的PDK，并于2017年5月正式發(fā)布了國內(nèi)首個具有完整硅光工藝流片能力的硅光平臺，同步啟動首次MPW流片。 
 
    微電子所硅光平臺已實現(xiàn)與主流光子集成設(shè)計軟件Synopsys OptoDesigner實現(xiàn)了集成。用戶可以在軟件中調(diào)用IMECAS工具包，利用平臺PDK提供的器件庫，便捷、靈活地進行符合平臺規(guī)范的硅光芯片設(shè)計。
 

    微電子所硅光平臺已對外提供包括無源器件和有源器件在內(nèi)的硅光全流程工藝服務(wù)。平臺主要工藝模塊包括220nm/150nm/70nm無源器件刻蝕工藝、高速調(diào)制器摻雜工藝、TiN加熱器電極工藝、鍺材料外延工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬層工藝等。

    微電子所硅光平臺每年可對外提供4-6次MPW流片服務(wù)。同時為了滿足客戶的特殊工藝要求，可提供工藝定制服務(wù)。
 
    截止至2020年6月度，微電子所硅光平臺已為200余家客戶提供了MPW和定制化流片服務(wù)，客戶包括國內(nèi)外頂級科研機構(gòu)及行業(yè)龍頭企業(yè)，如：華為、清華、海信等。
    微電子所硅光平臺立志成為國內(nèi)專業(yè)的光子芯片加工中心，為國內(nèi)外硅光技術(shù)研發(fā)和硅光產(chǎn)品開發(fā)提供最先進的工藝支持。

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