11/11/2024，光纖在線訊，據(jù)cnews.ru網(wǎng)11月7日?qǐng)?bào)道，俄羅斯工業(yè)和貿(mào)易部已撥款4.971億盧布，用于開發(fā)光刻機(jī)所需的計(jì)量設(shè)備，以支持國產(chǎn)芯片的生產(chǎn)。該部門于2024年11月發(fā)布了相關(guān)研發(fā)招標(biāo)。項(xiàng)目旨在建立光譜紫外區(qū)激光輻射參數(shù)參考集，涵蓋193和248納米波長設(shè)備，預(yù)計(jì)2027年4月完成。所開發(fā)零部件和材料需國內(nèi)生產(chǎn)，以減少對(duì)國外依賴。

      電子部門負(fù)責(zé)人表示，此次訂購設(shè)備將用于檢查光刻裝置中激光器的技術(shù)參數(shù)。同時(shí)，俄羅斯計(jì)劃于2024年開始生產(chǎn)350納米拓?fù)湫酒O(shè)備，2026年生產(chǎn)130納米設(shè)備，目前相關(guān)光刻機(jī)已開始測試。

來源：郵電設(shè)計(jì)技術(shù)
參考報(bào)道：corp.cnews.ru