4/02/2020，光纖在線訊，近日，ASML對(duì)外宣布： “受到新冠病毒疫情影響，公司提供給武漢以及其它地區(qū)客戶的EUV設(shè)備出貨，因旅游限制而被延遲，同時(shí)公司的供應(yīng)鏈出現(xiàn)了問(wèn)題，目前已經(jīng)解決”。ASML這里提到的EUV設(shè)備的武漢客戶就是中芯國(guó)際。中芯國(guó)際在武漢有一座12英寸晶圓廠，并且此前國(guó)內(nèi)也只有中芯國(guó)際向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)。



早在2018年初，ASML與中芯國(guó)際正式達(dá)成了首臺(tái)最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)的采購(gòu)訂單，價(jià)值約1.2億美元，原本預(yù)計(jì)將于2019年底交付，2020年正式安裝，今年1月份，ASML CEO對(duì)外表示，已經(jīng)向荷蘭政府提交了中國(guó)客戶出貨的申請(qǐng)，但一直在審批，導(dǎo)致遲遲無(wú)法交付。很多媒體都認(rèn)為這是受到了美國(guó)政府的干預(yù)。雖然，荷蘭政府否認(rèn)了這一說(shuō)法。

ASML首席執(zhí)行長(zhǎng)Peter Wennink表示：“到目前為止，Covid-19的爆發(fā)對(duì)ASML的生產(chǎn)能力影響有限，此外，從客戶的角度來(lái)看，今年我們的系統(tǒng)需求沒(méi)有減少�！�

 

他解釋說(shuō)，第一季度的短缺背后有三個(gè)關(guān)鍵的影響。第一起事件與延遲向武漢運(yùn)送更傳統(tǒng)的深紫外線(DUV)光刻設(shè)備有關(guān)，武漢是新型冠狀病毒爆發(fā)的最初中心，那里的運(yùn)輸和旅行限制已經(jīng)實(shí)施了數(shù)月。
Peter Wennink補(bǔ)充道：“其次，我們的供應(yīng)鏈出現(xiàn)了一些問(wèn)題，目前已經(jīng)得到了解決。再加上第一款NXE:3400C (EUV)最終配置的周期比最初計(jì)劃的要長(zhǎng)，這導(dǎo)致了一些發(fā)貨延遲�！�

據(jù)了解，中芯國(guó)際的7nm以下制程將使用ASML供應(yīng)的這臺(tái)EUV光刻機(jī)，目前中芯14nm已經(jīng)進(jìn)入量產(chǎn)，12nm也已經(jīng)有了重大突破。

之前中芯國(guó)際聯(lián)席CEO梁孟松博士首次公開了中芯國(guó)際N+1、N+2代工藝的情況，表示最新研發(fā)的N+1工藝相比自家研發(fā)的14nm工藝成本更低，性能提升20％、功耗降低57％、邏輯面積縮小63％，SoC面積縮小55％，而且最重要的是，這種工藝無(wú)需光刻機(jī)就能夠生產(chǎn)出7nm芯片。意味著，中芯國(guó)際的N+1工藝其實(shí)完全可以媲美臺(tái)積電的7nm工藝，只是在性能上還差一丟丟。由于成本降低，搭載N+1工藝芯片的手機(jī)或?qū)⒊蔀樾乱淮�的“性價(jià)比之王”。之后的N+2工藝性能和成本都更高一些。雖然N+1工藝沒(méi)有用到ASML的極紫外光刻機(jī)，也無(wú)需進(jìn)口任何昂貴設(shè)備，但N+2工藝還是需要EUV光刻機(jī)進(jìn)行技術(shù)支持的。中芯國(guó)際目前正計(jì)劃先逐步完善N+1技術(shù)，然后再進(jìn)一步探索N+2技術(shù)，但此時(shí)ASML延遲向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī)，應(yīng)該會(huì)在一定程度上影響N+2技術(shù)的研發(fā)進(jìn)程。但如果可以向其他國(guó)內(nèi)廠商交付EUV光刻機(jī)，同樣向中芯國(guó)際交付也不會(huì)存在問(wèn)題。

據(jù)悉，受新冠疫情的影響，ASML也下調(diào)了對(duì)于今年1季度的營(yíng)收預(yù)期，減少了1/4左右，預(yù)期營(yíng)收為24-25億美元。而根據(jù)ASML此前公布2019年財(cái)報(bào)顯示，2019年交付了26臺(tái)EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)2020年交付35臺(tái)EUV光刻機(jī)，2021年則會(huì)達(dá)到45臺(tái)到50臺(tái)的交付量，是2019年的兩倍左右。ASML表示新冠病毒疫情沒(méi)有對(duì)他們的光刻機(jī)生產(chǎn)制造帶來(lái)影響，需求也沒(méi)發(fā)生變化，只是供應(yīng)鏈被限制，導(dǎo)致交付延期。ASML稱一季度無(wú)法確認(rèn)的訂單將轉(zhuǎn)移到今年二、三季度中。

希望在疫情結(jié)束后，荷蘭政府向ASML發(fā)放新的出口許可證后，ASML能及時(shí)向中芯國(guó)際交付EUV光刻機(jī)。如果不能，那么我們可以名正言順地懷疑背后有美國(guó)在阻撓。