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利用棱鏡耦合儀分析AlGaN的折射率特性

光纖在線編輯部  2007-07-04 11:38:04  文章來(lái)源：綜合整理  版權(quán)所有,未經(jīng)許可嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載.

導(dǎo)讀：

    7/3/2007,棱鏡耦合（Prism Coupler）技術(shù)是測(cè)試多層膜的折射率和厚度的最可信，最精確的技術(shù)之一�？偟脑硪呀�(jīng)被尤瑞和多奇介紹過(guò)了(R. Ulrich and R. Torge, Appl. Opt. 12, 2901 (1973))，激光通過(guò)棱鏡和薄膜之間的空氣層被耦合進(jìn)波導(dǎo)層。在耦合的某個(gè)角度，可以看到波導(dǎo)產(chǎn)生的模點(diǎn)。當(dāng)從棱鏡里面看到衍射光時(shí)，在這些耦合的角度，可以發(fā)現(xiàn)光強(qiáng)突然變?nèi)酰诠獍叩闹虚g有個(gè)垂直的黑線。通過(guò)測(cè)試所有的模點(diǎn)，就能夠算出膜層的折射率和厚度了。
    為了得到這些值，膜層厚度需要足夠大，至少在波導(dǎo)上出現(xiàn)兩個(gè)模點(diǎn)。通過(guò)調(diào)整激光的直角偏振，就可以算出膜層的尋常光和非尋常光。
     
         （棱鏡耦合儀SPA-4000外觀）
    以下是美國(guó)杜克大學(xué)物理系（Duke University）利用棱鏡耦合來(lái)測(cè)試AlGaN（鋁的成分有改變）的尋常光和非尋常光的實(shí)驗(yàn)介紹，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊。
      
             （測(cè)試結(jié)構(gòu)圖）
測(cè)試數(shù)據(jù)
    尋常光和非尋常光的測(cè)試結(jié)果（該膜層是通過(guò)MOCVD生長(zhǎng)的AlGaN膜，其中鋁的成分有所不同，如下圖所示） 
     
           尋常光折射率（No）分布圖
      
    非尋常光折射率（Ne）分布圖
    波導(dǎo)耦合的原理：
      

測(cè)試過(guò)程：
     

(WesTech INT Co.,Ltd 鄧華中 aaron_deng@126.com)
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