7/24/2018,光纖在線訊：見到余明斌老師，編輯最關(guān)心的問題就是上海的硅光工藝線什么時候能夠啟用？余老師的回答是年內(nèi)就可以。目前大部分的設(shè)備招標采購工作已經(jīng)完成，還有一批正在進行中。第一批采購的設(shè)備8月中旬就開始到貨。這些設(shè)備只是上海微系統(tǒng)所的硅光工藝線所需的一部分設(shè)備。事實上去年年底，編輯曾經(jīng)前往上海嘉定參觀了余老師他們正在建設(shè)中的工藝線。當時除了部分前道工序，大部分后道工序的設(shè)備都已經(jīng)到位。余老師說，基本上他們現(xiàn)在只要不涉及PN結(jié)的結(jié)構(gòu)，他們都可以做，也就是大部分無源器件和調(diào)制器等結(jié)構(gòu)都可以做。除了硬件設(shè)備，余老師他們還在集成工藝技術(shù)開發(fā)方面做了很多工作。他們的目標是在設(shè)備到位的情況下能夠迅速形成流片能力。余老師告訴編輯，這條線是專門為硅光流片打造的，更具專業(yè)性，可以更好保障品質(zhì)。從他以往工作的經(jīng)驗來看，流片客戶最關(guān)心的無非是芯片質(zhì)量和流片周期兩個問題。上海硅光工藝線可以很好解決客戶的擔心。


CFOL配圖：上海微系統(tǒng)所 余明斌

余老師說，上海硅光工藝線是一條90nm的工藝線，可以滿足現(xiàn)在絕大多數(shù)硅光產(chǎn)品的流片需求。上海硅光工藝線的目標就是打造共性的技術(shù)平臺，為客戶開發(fā)硅光產(chǎn)品提供最大的方便。為此，他們打造了和國外類似平臺同樣標準的元器件庫和工藝庫，可以同樣為客戶提供MPW（多客戶共用）和定制化的服務(wù)，而且他們還將不斷豐富自己的工藝庫和器件庫。

余老師告訴編輯，他們上海硅光工藝線不僅擁有第一流的設(shè)備，而且他們的核心工藝技術(shù)人員在硅光領(lǐng)域擁有豐富的經(jīng)驗�？梢韵嘈�，這條工藝線的建設(shè)，必將極大地促進中國硅光產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。