3/2/2019,全球首家硅光子專業(yè)代工廠-新加坡Advanced Micro Foundry（AMF）宣布推出面向400G應(yīng)用的先進(jìn)硅光子集成工藝平臺(tái)。該平臺(tái)包括了多層氮化硅/硅(SiN/SOI)波導(dǎo)集成工藝以及一系列適用于400G光通訊應(yīng)用的無源以及有源高速硅光子器件和工藝設(shè)計(jì)器件庫。

近年來，隨著云計(jì)算和大數(shù)據(jù)應(yīng)用對(duì)帶寬需求的不斷增長，目前數(shù)據(jù)中心架構(gòu)中普遍使用的100G光互聯(lián)技術(shù)已不能完全滿足需求，業(yè)界因此對(duì)400G甚至1.6T傳輸能力的需求日趨迫切。為了應(yīng)對(duì)這一需求，從而為大數(shù)據(jù)通訊提供先進(jìn)的解決方案，AMF憑借多年來和客戶的深入合作，推出了可支持大帶寬和低功耗應(yīng)用的集成工藝平臺(tái)。

AMF總裁兼研發(fā)主管盧國強(qiáng)博士指出，“多年來，AMF基于對(duì)市場和客戶需求的考量，持續(xù)尋求硅光子集成技術(shù)的創(chuàng)新和突破。在2018年發(fā)布了基于28G波特率的100G硅光子PDK之后，AMF更近一步地推出了基于56G波特率的適用于400G光通訊的先進(jìn)集成工藝平臺(tái)。AMF的技術(shù)團(tuán)隊(duì)將全力提供技術(shù)支持以幫助客戶實(shí)現(xiàn)向新平臺(tái)的平穩(wěn)過渡�！�

該集成平臺(tái)克服了各種技術(shù)壁壘，旨在提供滿足數(shù)據(jù)中心帶寬擴(kuò)展和5G應(yīng)用所需的至關(guān)重要的基本硅光器件，其中包括了帶寬高于32GHz的MZI調(diào)制器以及帶寬高于35GHz、暗電流低于100nA的高速鍺光電探測(cè)器。該高速M(fèi)ZI調(diào)制器的設(shè)計(jì)可通用于O波段和C波段，達(dá)到了62G波特率和4.6dB消光比的技術(shù)指標(biāo)，并成功通過了項(xiàng)目驗(yàn)證。 

新的平臺(tái)和器件庫，進(jìn)一步擴(kuò)展了AMF現(xiàn)有的硅光子集成技術(shù)能力，以及已被客戶廣泛采用的各種解決方案，例如：

- 基于ArF-193光刻技術(shù)的0.13μm的CMOS工藝平臺(tái)，可提供線寬小于100nm硅波導(dǎo)結(jié)構(gòu)以及更低的光學(xué)損耗；
- 先進(jìn)的無源波導(dǎo)器件，包括低損耗耦合器，波分復(fù)用器，偏振分光器，偏振旋轉(zhuǎn)器，等；
- 基于多次離子摻雜以及多層金屬淀積技術(shù)的高速調(diào)制器，探測(cè)器，以及熱調(diào)制器；
- 多層氮化硅波導(dǎo)集成技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)超低損耗的大規(guī)模光子集成線路，以及大工藝容差的波分復(fù)用器件；
- 基于多晶硅覆蓋層的低損耗光柵耦合器；
- 基于各種MEMS技術(shù)的適用于激光器-硅波導(dǎo)、光纖-硅波導(dǎo)光學(xué)封裝的低損耗耦合器件；
- 適用于光電子倒裝芯片鍵合的UBM以及焊球技術(shù)。
此外，AMF在過去的一年里有針對(duì)性地進(jìn)行了大量的投資，以進(jìn)一步縮短其流片周期、提高質(zhì)量、產(chǎn)能以及整體服務(wù)優(yōu)越性。

作為專注于硅光子技術(shù)的純晶圓代工廠，AMF將繼續(xù)推動(dòng)其先進(jìn)技術(shù)路線圖，以提供基于客戶需求的技術(shù)、平臺(tái)及業(yè)務(wù)解決方案，包括未來的800G、1.6T帶寬需求和OEIC封裝解決方案等。

AMF將于2019年3月5日-7日在美國圣地亞哥光纖通訊網(wǎng)絡(luò)展覽會(huì)亮相 （展位號(hào)為5440），重點(diǎn)推薦上述先進(jìn)硅光子集成技術(shù)平臺(tái)。屆時(shí)歡迎眾位業(yè)界同仁、客戶及合作伙伴蒞臨洽談、指導(dǎo)。

AMF簡介
Advanced Micro Foundry (AMF) 是新加坡科技研究局微電子研究院的孵化公司，成立于2017年。作為硅光子領(lǐng)域的先驅(qū)研究機(jī)構(gòu)之一，AMF十多年來一直致力于硅光子技術(shù)以及產(chǎn)品的研發(fā)。AMF在核心研究發(fā)展方面始終保持均衡的努力，通過與國際頂尖高校以及各大跨國公司的學(xué)術(shù)合作和戰(zhàn)略性研發(fā)，建立并完善了硅光子技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的專利組合。 基于標(biāo)準(zhǔn)的200mm CMOS工藝，AMF開發(fā)出了多功能的硅光子平臺(tái)。迄今為止，AMF已開發(fā)出各類關(guān)鍵硅光子器件和集成線路，包括用于光通信的無源器件（如濾波器，陣列波導(dǎo)光柵等），以及高速有源器件（如高速調(diào)制器，光電探測(cè)器等），極大的促進(jìn)了高性能硅光子光學(xué)模塊的發(fā)展，可以滿足不同市場領(lǐng)域合作伙伴的不同需求以及不同應(yīng)用。