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先進(jìn)封測(cè)系列|破解光子芯片(PIC)“測(cè)前難”,晶圓級(jí)測(cè)試是關(guān)鍵

光纖在線編輯部  2025-07-17 10:57:23  文章來(lái)源:本站消息  版權(quán)所有,未經(jīng)許可嚴(yán)禁轉(zhuǎn)載.

導(dǎo)讀:本文將深入解析PIC互聯(lián)的發(fā)展趨勢(shì)與測(cè)試挑戰(zhàn),并探討EXFO OPAL自動(dòng)化探針平臺(tái)在晶圓級(jí)邊緣耦合測(cè)試中的的應(yīng)用能力,助力光子集成芯片實(shí)現(xiàn)規(guī)模化、高效落地。

7/17/2025,光纖在線訊,在AI大模型與算力基礎(chǔ)設(shè)施快速演進(jìn)的驅(qū)動(dòng)下,智算中心正加速邁向“以光為核心”的互聯(lián)新時(shí)代。光子集成電路(PIC)憑借高帶寬、低功耗、小尺寸等優(yōu)勢(shì),成為支撐高性能計(jì)算的關(guān)鍵技術(shù)。然而,制約PIC規(guī)?;瘧?yīng)用的瓶頸不在設(shè)計(jì),而在制造與測(cè)試環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)模塊級(jí)測(cè)試已難以滿(mǎn)足硅光芯片對(duì)一致性和良率的要求,推動(dòng)測(cè)試向封裝乃至晶圓階段前移,成為提升產(chǎn)能與加速應(yīng)用落地的關(guān)鍵路徑。

本文將深入解析PIC互聯(lián)的發(fā)展趨勢(shì)與測(cè)試挑戰(zhàn),并探討EXFO OPAL自動(dòng)化探針平臺(tái)在晶圓級(jí)邊緣耦合測(cè)試中的的應(yīng)用能力,助力光子集成芯片實(shí)現(xiàn)規(guī)?;?、高效落地。 

      
AI驅(qū)動(dòng)下的互聯(lián)瓶頸與測(cè)試挑戰(zhàn)

行業(yè)背景
近年來(lái),AI大模型參數(shù)規(guī)模呈指數(shù)增長(zhǎng),GPU算力持續(xù)攀升,而網(wǎng)絡(luò)帶寬提升僅為1.4倍,形成明顯“剪刀差”,網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)正成為限制智算中心效率釋放的核心瓶頸。光互聯(lián),尤其是基于PIC的高速并行架構(gòu),被視為是打破瓶頸的關(guān)鍵路徑。

然而,PIC的大規(guī)模落地面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn),尤其在測(cè)試環(huán)節(jié)。隨著芯片容量向百Tb/s甚至Pb/s演進(jìn),集成規(guī)模與通道數(shù)量激增,帶來(lái)三大難題:
制造復(fù)雜度高:單顆芯片集成上千個(gè)光學(xué)器件,面積大、通道多、功能耦合復(fù)雜;

測(cè)試難度劇增:傳統(tǒng)模塊級(jí)測(cè)試階段滯后,易造成材料與工藝?yán)速M(fèi),且難以實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;

良率風(fēng)險(xiǎn)上升:缺乏晶圓級(jí)系統(tǒng)功能驗(yàn)證,導(dǎo)致缺陷芯片在后段工藝中暴露,拖慢量產(chǎn)節(jié)奏。

據(jù)統(tǒng)計(jì),TAP(測(cè)試、組裝與封裝)成本已占據(jù)PIC芯片制造成本的80%以上,遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)電芯片。

         
從參數(shù)驗(yàn)證到系統(tǒng)功能全保障

測(cè)試體系
為確保PIC芯片在高復(fù)雜度應(yīng)用場(chǎng)景下的性能穩(wěn)定與制造良率,光學(xué)測(cè)試貫穿從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到模塊交付的全流程。根據(jù)測(cè)試階段和目的不同,可分為三大階段與兩類(lèi)方法。

三大測(cè)試階段:
晶圓級(jí)測(cè)試:在芯片切割封裝前進(jìn)行,聚焦插入損耗(IL)、偏振相關(guān)損耗(PDL)等基礎(chǔ)光學(xué)參數(shù),及早篩除缺陷芯片,提升良率、控制成本;

封裝級(jí)測(cè)試:在芯片封裝后進(jìn)行,驗(yàn)證耦合效率、封裝應(yīng)力等因素對(duì)性能的影響,是連接前端制造與后端系統(tǒng)集成的關(guān)鍵環(huán)節(jié);

模塊級(jí)測(cè)試:面向完整模塊(如OSFP/QSFP),驗(yàn)證誤碼率(BER)、眼圖、TDECQ、發(fā)射功率等系統(tǒng)級(jí)指標(biāo),是出廠前的質(zhì)量終檢。

     
兩類(lèi)測(cè)試方法:
參數(shù)測(cè)試:聚焦器件結(jié)構(gòu)與材料特性,如帶寬、損耗、響應(yīng)速度等,常用于設(shè)計(jì)驗(yàn)證與工藝優(yōu)化;

功能測(cè)試:模擬真實(shí)應(yīng)用環(huán)境,評(píng)估芯片在特定波長(zhǎng)、速率、調(diào)制格式下的整體性能,如誤碼率、信噪比等,隨著集成度提高,測(cè)試復(fù)雜性顯著增加。

科學(xué)劃分測(cè)試階段、匹配適當(dāng)測(cè)試方法,已成為提升PIC制造效率與一致性的關(guān)鍵策略。尤其是在量產(chǎn)階段,晶圓級(jí)功能測(cè)試正成為突破測(cè)試瓶頸、加速產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵抓手。

     
功能測(cè)試前移,晶圓級(jí)驗(yàn)證成焦點(diǎn)

技術(shù)趨勢(shì)
隨著PIC芯片集成度、復(fù)雜性和應(yīng)用場(chǎng)景不斷提升,行業(yè)已形成共識(shí):系統(tǒng)級(jí)功能測(cè)試必須從傳統(tǒng)的模塊階段前移至封裝乃至晶圓階段。這一趨勢(shì)不僅是技術(shù)演進(jìn)的結(jié)果,更是保障良率、控制成本和實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量交付的必由之路。

為何測(cè)試必須前移?

將測(cè)試前置,可在制造早期識(shí)別功能缺陷,避免不良芯片流入高成本工序,從根本上降低返工與浪費(fèi)。具體優(yōu)勢(shì)包括:
成本控制:早期篩除不良品,減少封裝與組裝階段的高額損失;

效率提升:精簡(jiǎn)模塊級(jí)測(cè)試流程,加快產(chǎn)品交付節(jié)奏;

質(zhì)量保障:更早發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)級(jí)偏差,提升芯片一致性與可靠性;

工藝閉環(huán):測(cè)試數(shù)據(jù)反饋制造環(huán)節(jié),助力設(shè)計(jì)與工藝持續(xù)優(yōu)化。

前移測(cè)試的技術(shù)挑戰(zhàn): 
盡管趨勢(shì)明確,實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)功能驗(yàn)證仍面臨不小挑戰(zhàn),主要包括: 
高精度耦合難:需實(shí)現(xiàn)多通道、大陣列、低插損的邊緣耦合,對(duì)對(duì)準(zhǔn)精度和重復(fù)性提出更好要求;

指標(biāo)測(cè)量復(fù)雜:覆蓋BER、TDECQ、Q-factor、IL、RL、PDL等關(guān)鍵系統(tǒng)級(jí)指標(biāo)的精準(zhǔn)測(cè)量;

平臺(tái)兼容性要高:測(cè)試平臺(tái)需適配多種材料(Si、InP、LiNbO?)與封裝形態(tài)(CPO、MCM等);

自動(dòng)化與智能化需求高:需支持并行通道控制、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集與聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)“邊測(cè)邊調(diào)”、“在線調(diào)優(yōu)”。

在通道密度與傳輸速率持續(xù)提升的背景下,晶圓級(jí)功能測(cè)試不僅是控制成本的利器,更成為保障良率與大規(guī)模交付的核心能力。面向未來(lái),業(yè)界亟需構(gòu)建支持多階段、多通道、多耦合形態(tài)的柔性自動(dòng)化測(cè)試平臺(tái),推動(dòng)PIC測(cè)試體系全面升級(jí)。

   
EXFO構(gòu)建PIC智能測(cè)試平臺(tái)體系

解決方案
為滿(mǎn)足功能測(cè)試前移、晶圓級(jí)驗(yàn)證及量產(chǎn)需求,EXFO推出OPAL系列自動(dòng)化探針平臺(tái),構(gòu)建覆蓋從科研驗(yàn)證到批量交付的端到端測(cè)試體系。平臺(tái)具備高度自動(dòng)化、模塊化與柔性擴(kuò)展能力,支持從單裸片到300mm晶圓的多封裝形態(tài)測(cè)試和多光學(xué)耦合方式,打通晶圓—封裝—模塊的測(cè)試閉環(huán),是實(shí)現(xiàn)光子芯片高質(zhì)量交付的關(guān)鍵工具。

      
1. 多封裝形態(tài)支持:OPAL系列探針臺(tái) 
OPAL-EC|晶圓級(jí)邊緣耦合測(cè)試旗艦平臺(tái)

專(zhuān)為晶圓級(jí)邊緣耦合自動(dòng)化測(cè)試打造。平臺(tái)支持最大300mm晶圓、105°旋轉(zhuǎn)臺(tái)和多通道并行耦合,集成納米級(jí)對(duì)準(zhǔn)模塊、上下雙攝像頭系統(tǒng)與自動(dòng)對(duì)焦導(dǎo)航功能,具備0.5nm對(duì)準(zhǔn)分辨率和3nm晶圓定位精度,顯著提升耦合效率與測(cè)試一致性。

典型應(yīng)用: 硅光調(diào)制器、MRR等晶圓級(jí)器件批量測(cè)試;AI、通信、傳感場(chǎng)景的大規(guī)模PIC篩選與驗(yàn)證;多端口、高密度晶圓級(jí)邊緣耦合的快速驗(yàn)證。

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OPAL-MD|連接研發(fā)與量產(chǎn)的多芯片測(cè)試平臺(tái)
適用于多裸片或復(fù)雜封裝(如MCM、CPO)測(cè)試,適配中試與小批量量產(chǎn)旋球。平臺(tái)支持多芯片并行測(cè)試,內(nèi)嵌PILOT自動(dòng)化控制軟件,涵蓋芯片導(dǎo)向、校準(zhǔn)、執(zhí)行與數(shù)據(jù)分析的全流程,具備靈活配置能力,滿(mǎn)足復(fù)雜封裝結(jié)構(gòu)的批量驗(yàn)證需求。

典型應(yīng)用:MPW流片項(xiàng)目與多芯片集成模塊評(píng)估;高速CPO與復(fù)雜封裝功能測(cè)試;電信模塊、自動(dòng)駕駛領(lǐng)域等中試驗(yàn)證。

OPAL-SD|科研與小批量驗(yàn)證的靈活平臺(tái)
面向高校、科研機(jī)構(gòu)與初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)的入門(mén)級(jí)半自動(dòng)探針平臺(tái),適用于單芯片、小批量的光學(xué)/電氣功能快速驗(yàn)證。平臺(tái)支持手動(dòng)與半自動(dòng)操作,配備模塊化光學(xué)/電探針,具備精準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)與靈活切換能力。內(nèi)嵌PILOT測(cè)試軟件,支持基礎(chǔ)自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)采集與分析,是科研驗(yàn)證與技術(shù)孵化的理想選擇。

典型應(yīng)用:PIC芯片早期設(shè)計(jì)評(píng)估與功能驗(yàn)證;教學(xué)實(shí)驗(yàn)、技術(shù)孵化、工藝初篩;學(xué)術(shù)研究、初創(chuàng)公司小批量開(kāi)發(fā)測(cè)試。

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2.PILOT軟件平臺(tái):數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)的智能測(cè)試中樞
PILOT是EXFO專(zhuān)為OPAL探針平臺(tái)打造的核心控制軟件,貫穿測(cè)試配置、設(shè)備控制、流程執(zhí)行、數(shù)據(jù)分析與報(bào)告生成,構(gòu)建起可自動(dòng)化、可追溯、可擴(kuò)展的PIC芯片測(cè)試閉環(huán)。其模塊化架構(gòu)與強(qiáng)互操作性,支持從單Die到晶圓、從研發(fā)到產(chǎn)線的全流程測(cè)試需求。其核心能力包括:

流程自動(dòng)化與設(shè)備聯(lián)控:自動(dòng)讀取CAD 圖紙、識(shí)別Die布局,聯(lián)動(dòng)激光器、誤碼儀、功率計(jì)等設(shè)備,實(shí)現(xiàn)對(duì)準(zhǔn)、校準(zhǔn)、采集全流程控制。

靈活腳本與并發(fā)調(diào)度:內(nèi)置Sequencer模塊,支持Python/Excel腳本、多線程并行與測(cè)試序列調(diào)度,適配多通道場(chǎng)景。

結(jié)構(gòu)化數(shù)據(jù)管理:內(nèi)置云端/本地?cái)?shù)據(jù)庫(kù),實(shí)現(xiàn)測(cè)試計(jì)劃、組件定義、配置參數(shù)與測(cè)試結(jié)果的集中管理,支持多站點(diǎn)協(xié)同與可追溯數(shù)據(jù)分析。

AI 驅(qū)動(dòng)跳測(cè)優(yōu)化:PILOT原生兼容AI工具,可訓(xùn)練并部署模型,識(shí)別缺陷模式、預(yù)測(cè)結(jié)果,智能跳過(guò)冗余測(cè)試,顯著提升良率與測(cè)試效率。

強(qiáng)互操作性生態(tài):可與Excel、MATLAB、Power BI等工具無(wú)縫集成,助力用戶(hù)高效完成數(shù)據(jù)分析與報(bào)告生成。
PILOT平臺(tái)真正實(shí)現(xiàn)了從“靜態(tài)驗(yàn)證”向“動(dòng)態(tài)調(diào)參”、從“單點(diǎn)測(cè)試”向“流程協(xié)同”的躍遷,是支撐晶圓級(jí)PIC芯片自動(dòng)化測(cè)試走向產(chǎn)業(yè)化的核心軟件樞紐。

    
3. CTP10測(cè)試平臺(tái):高精度功能測(cè)試引擎
CTP10是EXFO推出的高性能光子器件測(cè)試平臺(tái),專(zhuān)為微環(huán)諧振器、MZI、濾波器、VOA等無(wú)源和有源器件的參數(shù)驗(yàn)證設(shè)計(jì),具備高精度、廣覆蓋、強(qiáng)擴(kuò)展等優(yōu)勢(shì),是PIC功能驗(yàn)證的關(guān)鍵測(cè)試引擎之一。核心優(yōu)勢(shì)包括:
亞皮米級(jí)分辨率:支持20fm級(jí)光譜掃描,滿(mǎn)足高Q值微環(huán)器件的精細(xì)頻域響應(yīng)測(cè)試;

超寬波長(zhǎng)覆蓋:1240–1680nm全波段覆蓋,適用于電信、數(shù)據(jù)通信與生物傳感等多應(yīng)用場(chǎng)景;

超高動(dòng)態(tài)范圍:>70dB插入損耗動(dòng)態(tài)范圍,單次掃描完成IL、PDL、光譜響應(yīng)等多項(xiàng)參數(shù)測(cè)量;

多通道陣列支持:支持100+通道并行測(cè)量,適配AWG與光開(kāi)關(guān)等高密度器件陣列測(cè)試需求;

激光器穩(wěn)定與溯源校準(zhǔn):內(nèi)置DFB激光器與功率校準(zhǔn)模塊,實(shí)現(xiàn)輸出穩(wěn)定性與全流程數(shù)據(jù)可溯源。

CTP10采用模塊化設(shè)計(jì),支持SCPI命令行與GUI圖形界面雙重控制,并與PILOT軟件無(wú)縫集成,適用于研發(fā)、中試及量產(chǎn)環(huán)境,是當(dāng)前PIC測(cè)試中兼具精度、速度與擴(kuò)展性兼具的標(biāo)桿方案。

  
    
隨著PIC芯片集成度和復(fù)雜度的持續(xù)攀升,測(cè)試正從傳統(tǒng)的“事后驗(yàn)證”走向“前置嵌入”。EXFO以O(shè)PAL探針臺(tái)、CTP10測(cè)量平臺(tái)與PILOT自動(dòng)化軟件,構(gòu)建起覆蓋晶圓到系統(tǒng)的智能測(cè)試體系,實(shí)現(xiàn)高精度耦合、多通道并行、AI輔助分析與數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)決策,加速PIC芯片從實(shí)驗(yàn)室走向規(guī)模應(yīng)用。在測(cè)試戰(zhàn)略前移的大趨勢(shì)下,測(cè)試正從輔助工具,演進(jìn)為驅(qū)動(dòng)光子制造流程優(yōu)化與產(chǎn)業(yè)協(xié)同的中樞力量。
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