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破局“芯”困境,西北地區(qū)首條硅光中試線正式通線

光纖在線編輯部  2025-11-04 17:53:12  文章來源:本站消息  版權所有,未經許可嚴禁轉載.

導讀:此次硅光平臺通線,使光電子先導院形成“6 英寸化合物芯片 + 8 英寸硅光芯片”的雙中試平臺格局,成為國內少數(shù)具備全鏈條中試能力的創(chuàng)新載體。

11/04/2025,光纖在線訊,11月4日,在2025硬科技創(chuàng)新大會光子產業(yè)高峰會議上,陜西光電子先導院總經理楊軍紅介紹陜西“追光計劃”階段性進展,宣布光電子先導院建設的“8 英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺”(簡稱“8英寸硅光平臺”)已正式通線,并發(fā)布了一款無源SOI(絕緣襯底上的硅)集成超低損耗氮化硅產品的PDK(工藝設計套件)。

     楊軍紅表示,作為西北地區(qū)首條硅光中試線,8英寸硅光平臺的正式通線,不僅填補了區(qū)域硅光芯片中試領域空白,更成為陜西“追光計劃”實施以來的標志性成果,將作為陜西打造千億級光子產業(yè)集群的核心支點,為“追光計劃”從藍圖邁向實踐注入關鍵動力。

      
陜西光電子先導院總經理楊軍紅介紹“追光計劃”進展及硅光中試平臺

錨定追光藍圖,構筑產業(yè)躍遷核心支點
     自 2021 年陜西“追光計劃”啟動以來,全省光子產業(yè)已實現(xiàn)跨越式成長——企業(yè)數(shù)量攀升至370多家,產業(yè)規(guī)模從150億元躍升至 365 億元,初步構建起“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產業(yè)鏈條。2023 年升級啟動的“追光計劃—躍遷行動”,更以“一核兩翼+一園三區(qū)”布局明確發(fā)展路徑:西安高新區(qū)作為核心承載區(qū),集聚光子芯片園、光子制造園等特色載體,而光電子先導院正是這一布局中的 “創(chuàng)新策源中樞”。

     “8 英寸硅光平臺的通線,徹底補全了陜西在硅光芯片中試領域的短板?!睏钴娂t表示,作為“追光計劃”的核心支撐平臺,光電子先導院已累計投入約15億元構建“6英寸化合物芯片+8英寸硅光芯片”雙中試平臺,此前6英寸化合物平臺已服務50余家企業(yè),如今硅光平臺的加入,將與西安科學園的先進阿秒激光設施、光子傳感園的產業(yè)化載體形成聯(lián)動,為“追光計劃”培育千億級集群提供從基礎研究、中試驗證到量產落地的全鏈條支撐。

     數(shù)據(jù)顯示,“追光計劃”推進四年來,光電子先導院已解決 100 余家初創(chuàng)企業(yè)“研發(fā)難、流片難”問題。此次硅光中試線的啟用,更被視為計劃向“高質量集群發(fā)展”邁進的關鍵落子——通過中試能力的完善,陜西將進一步吸引產業(yè)鏈上下游企業(yè)集聚,加速“材料— 芯片—應用”的產業(yè)閉環(huán)形成。

   
陜西光電子先導院總經理楊軍紅介紹“追光計劃”進展及硅光中試平臺

填補西北空白,硬核平臺破解行業(yè)困境
     硅光技術作為AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領域的核心支撐,正處于技術突破與應用落地的關鍵期,但其產業(yè)發(fā)展長期受限于中試資源集中的困境。楊軍紅介紹稱,全球硅光中試資源多掌握在歐美企業(yè)手中,國內企業(yè)依托國外平臺流片需支付高昂費用,且面臨流片周期長、產能優(yōu)先供給受限等問題,自建產線則需巨額設備投入,讓中小企業(yè)和科研團隊望而卻步。

      
光電子先導院8英寸硅光平臺白光區(qū)

     光電子先導院的8英寸硅光平臺,正是破解這一困境的“硬核方案”。該平臺總投資7.5億元,于2023年底啟動建設。截至2025年9月末,已完成全部場地及硬件設施建設。該平臺引進了比利時IMEC“130nm硅光芯片工藝包”,并引入了光刻、刻蝕等60余臺(套)關鍵核心設備,在130nm有源集成硅光主工藝平臺基礎上,開發(fā)90nm以上先進工藝,已構建起自主可控的先進工藝體系。

     值得一提的是,在會議現(xiàn)場,光電子先導院還正式發(fā)布了一款無源SOI(絕緣襯底上的硅)集成超低損耗氮化硅產品的PDK(工藝設計套件)?!斑@是光電子先導院硅光平臺發(fā)布的首款PDK,預計將于2026年完成有源產品通線,包含高性能調制器、探測器等核心器件,將加速可應用于人工智能、光通信、光計算、智能駕駛、低空飛行、醫(yī)療健康等領域的產品迭代進程,將大幅縮短光電、硅光客戶的流片周期和研發(fā)成本?!睏钴娂t表示。

“1+N 模式”構建生態(tài),驅動產業(yè)協(xié)同發(fā)展
     此次硅光平臺通線,使光電子先導院形成“6 英寸化合物芯片 + 8 英寸硅光芯片”的雙中試平臺格局,成為國內少數(shù)具備全鏈條中試能力的創(chuàng)新載體。而支撐這一雙平臺高效運轉的,正是光電子先導院在國內率先提出的“1+N”柔性工程平臺模式。

     “‘1’即以‘6 英寸化合物VCSEL平臺+8英寸硅光平臺’為核心的主工藝平臺,承擔資源整合與穩(wěn)定運行的使命——我們將80% 資源向中小企業(yè)開放中試流片服務,加速產品市場化;20%資源用于支持前沿創(chuàng)新研發(fā),孵化突破性技術。” 楊軍紅解釋,在此基礎上,“N”個特色工藝平臺將針對磷化銦探測器、砷化鎵射頻器件等細分領域,通過設備共享、技術授權、聯(lián)合定制研發(fā)等方式,降低企業(yè)初始投入,實現(xiàn)專項突破。

      
光電子先導院8英寸硅光平臺黃光區(qū),技術人員正在操作光刻機

     這一模式已初見成效。6 英寸化合物平臺自 2023 年啟用以來,已發(fā)布20余款 PDK,為 50 余家客戶提供全流程服務;8英寸硅光平臺雖剛通線,但已與十余家頭部企業(yè)達成意向合作協(xié)議,并吸引了多家外地企業(yè)聚集陜西。深圳瑞識智能科技有限公司董事長汪洋的感受頗具代表性:“海外代工廠解決不了研發(fā)階段所需的高度定制化需求,但在光電子先導院,排隊等待中試的時間少了、交流的效率高了,速度比在國外做中試快5倍以上?!?

     “從化合物半導體到硅光集成,我們正以平臺能力躍升支撐新質生產力發(fā)展?!?nbsp;楊軍紅透露,下一步將推進異質異構集成平臺建設,構建“化合物半導體+硅光+異質異構集成”三位一體的平臺架構,實現(xiàn)從材料生長、芯片制程、器件封裝到系統(tǒng)測試的全鏈條覆蓋,為光通信、生物傳感、人工智能等前沿領域提供關鍵支撐,助力陜西成為光子產業(yè)高地。
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